横河MEMS传感器的主要优点
横河EJA变送器EJA210/220A、EJA430A、EJA510A/530A采用了世界最领先的微电子机械加工高新技术（MEMS），即采用微电子加工技术（MEMS）在一个单晶硅芯片表面的中心和边缘制作两个形状、尺寸、材质完全一致的Ｈ形状的谐振梁，谐振梁在自激振荡回路中作高频振荡。
MEMS有如下几点优点：
⒈调节输出信号。集成在芯片上的电路可以在信号传输前预先完成A/D转换、阻抗匹配、输出信号格式化以及信号平均等信号调节和处理工作。
⒉大大提高信噪比。在同一个芯片上进行信号传输前可放大信号以提高信号水平，减小干扰和传输的噪声，特别是同一芯片上进行A/D转换时，更能改善信噪比。
⒊MEMS传感器还可以把多个相同的敏感元件集成在同一芯片上形成传感器阵列（如微型触觉传感器）；或把不同的敏感元件集成在同一芯片上实现多功能传感（如微型气敏传感器）。
⒋由于MEMS传感器体积微小，重量极轻，因此其附贴片钽电容加质量等因素对被测系统的影响可以忽略不计，可提高测量精度。
⒌此种传感器在同一芯片上集成了了放大电路、敏感元件以及补偿电路，可以实现传感探测的同时，而且还能处理信号，增强钽电容的线性度和频响特性，减少温度或静压引起的误差，并且可以每隔一段时间自行校准和诊断。
横河变送器静压影响忽略不计，当加有静压（工作压力）时，两形状、尺寸、材质完全一致的谐振梁形变相同，故频率变化也一致，故偏差自动清除（公式和图类似温度影响）。
横河变送器单向过压特性优异 ，接液膜片与膜盒本体采用独创的波纹加工技术，使外部压力增大到某一数值时，接液膜片能与本 EJA智能压力变送器体完全接触，硅油传递给传感器的压力不再随外力的增加而增加，从而达到对传感器的保护作用。、所示为ＥＪＡ过压特性。安装灵活，可无需支架，直接安装，常规使用，无需三阀组，组态灵活简便，可通过计算机或手操器对变送器组态，也可通过变送器上的量程设置按钮和调零按钮，进行现场调整。
横河支持开放式通讯协议：BRAIN/HART/FF 现场总线三种通讯协义供选择.
并且开发时重视零点的稳定性，提高了维护效率。
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